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技術資料

什么是低溫等離子體?

首先,明白什么叫  等離子體:

等離子體是一種由自由電子和帶電離子為主要成分的物質形態(tài),廣泛存在于宇宙中,,常被視為是物質的第四態(tài)。
等離子體是具有高位能動能的氣體團,等離子體的總帶電量仍是中性,借由電場或磁場的高動能將外層的電子擊出,結果電子已不再被束縛于原子核,而成為高位能高動能的自由電子。
然后,等離子體有2種分類:

低溫等離子體低溫等離子體放電過程中雖然電子溫度很高,但重粒子溫度很低,整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài),所以稱為低溫等離子體,也叫非平衡態(tài)等離子體。
如果電子的溫度和重粒子溫度差不多,則為高溫等離子體,或平衡態(tài)等離子體。

 

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